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第二十一章 真空鍍膜(下) (第1/3頁)

空氣泵發出一聲巨響,隨後傳來“咣咣咣”的聲響。

許秋嚇的一激靈,朝後縮了一下身子。

等了一會兒,他感覺沒什麼危險,便上前檢查空氣泵。

“看著沒有問題啊。”他向學姐道。

“確實沒問題,這是正常情況。現在是發動機在透過曲軸,驅動活塞向儲氣筒內打氣,等到儲滿氣後,就會自動停下。”

陳婉清試圖繃住臉上的笑容,但是沒有成功,還是笑了出來。

“學姐你是故意的吧。”許秋做出一副憤慨的樣子。

“怎麼會呢,我是那樣的人嘛。”陳婉清笑道。

許秋搖了搖頭,回到總控臺,繼續實驗。

他開啟總控開關,膜厚儀的數顯螢幕亮起。

許秋先檢查膜厚儀的引數是否設定正確,包括靶材名稱、密度和Z因數等。

膜厚儀的原理並不是直接測量膜厚,而是透過間接法計算得到。

在蒸鍍過程中,靶材分子到達晶振片處,會產生電訊號,經過擬合計算可將電訊號轉化為蒸鍍速率,最後將速率與時間相乘得到膜厚。

調好膜厚儀後,數顯螢幕上顯示:

蒸鍍材料為鈣,速率為0.00埃每秒,膜厚為0.00埃。

同時,許秋觀察到總控臺上面有兩個氣壓計,可以實時監測蒸鍍艙內的壓強。

其中一個示數為一個大氣壓,即1.0E5帕,另外一個則處於未工作狀態。

“為什麼要安裝兩個氣壓計呢?”許秋疑惑道。

“兩者的壓強測定範圍不同,前者約為0.1到10000帕,後者約為十的負六次方到1帕。”陳婉清道,隨後又補了一句:

“準備工作都好了,開始抽真空吧。”

許秋點點頭,按下機械泵的啟動鍵,同時開啟超真空擋板閥,又是一陣轟鳴聲傳來。

“蒸鍍操作的噪音有點大啊。”習慣了之前安靜實驗環境的許秋,忍不住吐槽道。

“是啊,不過慢慢你就會適應的。”陳婉清道。

機械泵啟動後,氣壓計的示數快速減小。

從1.0E5,迅速變為3.2E4,然後是8.9E3,直至1E3帕左右,下降速度才開始變慢。

過了兩分鐘左右,壓強終於降至20帕以下,許秋關閉超真空擋板閥,開啟分子泵。

分子泵的轉速要從0逐漸加速至27000r.p.m.後,它才可以正常工作,約需要耗時10分鐘。

待分子泵運轉平穩後,許秋開啟束源爐擋板,然後啟動束源爐的升溫控制裝置。

裝置的螢幕上顯示有束源爐當前溫度和設定溫度,分別為27和30攝氏度。

他開啟設定介面。

這塊螢幕採用的是計算器上那種“日”字型的顯示方法,主要用於數字顯示,所以顯示出來的字母都很抽象。

還好都是常用的單詞,許秋花了點時間弄明白每個引數的意義後,手動設定升溫程式:

SP1 30

RATE 30

TIME 60

SP2 400

RATE 30

TIME 3

SP3 520

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