另一個時空,光刻機的發展經過了一個漫長的過程,1960 年代的接觸式光刻機、接近式光刻機,到 1970 年代的投影式光刻機,1980 年代的步進式光刻機,到步進式掃描光刻機,到浸入式光刻機和8102年的 EUV 光刻機,裝置效能不斷提高,推動積體電路按照摩爾定律往前發展。
曝光光源方面,從 1960 年代初到 1980 年代中期,汞燈已用於光刻,其光譜線分別為&n(g&n(h 線)和&n(i 線)。然而,隨著半導體行業對更高解析度(整合度更高和速度更快的晶片)和更高產量(更低成本)的需求,基於汞燈光源的光刻工具已不再能夠滿足半導體業界的高階要求。
1982 年,IBM 的 Kanti Jain &ner laser lithography(準分子鐳射光刻)”,並進行了演示,現在準分子鐳射光刻機器(步進和掃描器)在全球積體電路生產中得到廣泛使用。在在發展的 30 年中,準分子鐳射光刻技術一直是摩爾定律持續推進的關鍵因素。使得晶片製造中的最小特徵尺寸從 1990 年的&n 推進至 2016 &n,再到8102年的臺積電和三星實現量產的&n 產品。
&n(g&n(h 線)和&n(i &n都指的是光刻機用來光刻的曝光光源。
1971年Intel 公司推出的10微米全球第一款4004微處理器,再到1980年2微米工藝的256Kb DRAM,1984年1微米工藝的1Mb DRAM,再到1991年此時即將問世的0.35微米工藝的64Mb DRAM ……10微米到0.35微米,指的是透過光刻機光刻等工藝,在晶片內部中,電晶體之間或者線最小可以做到的距離。
微米和奈米的概念,到底有多寬或者多細,大家可以體會一下:
&nm)等於1000微米(μm),一微米(mm)等於1000奈米(nm)。
而成年男性的頭髮直徑一般在40到80微米之間,女性的頭髮直徑則一般在20微米到40微米之間,小孩子的頭髮則是40微米左右。
也就是說,此時工藝為1微米的晶片中,電晶體的線寬大概是小孩頭髮直徑的1/40;換而言之,直徑40微米的頭髮橫切之後的面積上,按照1微米的工藝光刻,可以光刻2030個電晶體!
而光刻工藝越好,工藝製程越小,晶片整合度越高,效能越好,功耗越低。
所以,電子產品不斷追求卓越效能的背後,是晶片的處理能力的不斷上升!而反應到晶片生產廠家和晶片製造裝置上,就是對晶片製程工藝的不斷縮小和光刻機等裝置光刻特徵尺寸的不斷縮小。
所以,餘子賢一心一想要ASML可以製造出0.8微米工藝製程晶片的PAS5000光刻機,最次也要拿到1.2微米的PAS2300光刻機。甚至不惜,給ASML製造一些緊張氣息,透露PAS5500掃描式步進光刻機的相關資訊!
“你怎麼知道我們PAS5500型光刻機即將上世的?”裡託斯·基維先生站了起來,懟著餘子賢的臉,嚴肅的問道!
“裡託斯·基維先生,我們的合作的可能已經消失了……所以,很抱歉,我不可能告訴你原因的!”
“不不……餘先生,一切皆有可能!”
“走吧……”餘子賢直接帶頭站了起來,帶著其他幾個人向外走去!
餘子賢就這樣走出去,雖然更多的是想給ASML一些壓力,讓他們退讓,願意以合理價格出售自己想要的光刻機!就算是1微米的PAS2500出售有困難,但是如果ASML可以無償將1.5微米的PAS2300升級到1.2微米,倒也不是不可以接受。
不過,餘子賢在看到天下的烏鴉一般黑之後,已經做好了最壞的打算。之前,餘子賢本來想著撿PAS2300的便宜,可是如果只是1.5微米的製程,餘子賢還想再看一看,他想讓曹飛他們再重點公關一下佳能,或許以可以接受的價格引進1.2微米的光刻機有可能!
裡託斯·基維一看餘子賢直接到這人走了,也是有點急了,再次大聲喊道:“餘先生,你等一等,我立即向總部申請!”
牽扯到PAS5500光刻機的上市,他不得不慎重。更何況,在他看來,香積電確實是PAS2300光刻機非常合適的買主!
目前,灣島的苔積電和聯華電廠房建設早已經結束,而前兩年的苔積電,代工商業模式不被認可,訂單稀少。經過這兩年的發展,灣島半導體行業才實現起步,開始逐步盈利。剛完成投資的苔積電,在短時間內很難繼續再建設新生產線。
關鍵是隨著PAS5500的上市,上市於85年PAS2300系列光刻機,處於即將被主流市場淘汰的邊緣。
灣島找不到買家,那麼在尼康壟斷的曰本和韓國市場,更不可能找到買家。難道真要運回去?
這些精密儀器,想要完好的運送回去,繞地球大半圈,從灣島到芬蘭,運費都在20萬起步!
而一直放著也不是回事啊,既要給苔積電交場地租用費,還面臨時間的推移和技術發展,這兩臺PAS2300光刻機不斷貶值的危險!
可是想要滿足香積電餘子賢的要求,就需要對PAS2300光刻機進行升級,而且費用不小。一臺50萬美元的升級費用,如果算上人工材料等等費用沒多要多少!
“首席,如果現在不乘機將這兩臺PAs2300賣出去的話,就不是賺多少的問題了,而是要虧損多少的問題!”
站在里斯託·基維裡旁邊的辦事處銷售代表阿萊克西斯·呂蒂(Aleksis·Ryti)忽然提醒道。
“……”從猶豫中抬起頭的里斯託·基維卻再沒有看到餘子賢他們的身影……跑到窗子跟前,看到是已經出了辦公大樓餘子賢他們的背影。
“哎,阿萊克西斯”,先給總部打電話吧,將這裡的情況全部告訴他們,然後做進一步請示……”
“是的,裡託斯首席。”阿萊克西斯低聲說道。
而回到酒店的餘子賢,正在召集大家集思廣益。
“老闆,我的工作沒有做好,具體情況瞭解不到位!”佟若愚站了起來,首先自責並檢討道。
“佟總,您不必自責,這一次的談判失敗並不代表我們最終會失敗,而且這一次,主要原因是我改變主意了。根據目前的技術發展,我們已經1.5微米工藝製程的裝置,等我們大半年滿產之後,主流工藝已經接近0.5微米了,會又落後一代。所以我想爭取1微米的工藝,最不行1.2微米的工藝製程要保證!”
餘子賢嘆息了一口氣,又說道:“只是沒想到升級費用要50萬,要價太狠!想買他們1微米PAS2500的光刻機,他們又不賣!”
“不過,等著吧,他們有可能還會上門來找我們的!”餘子賢對於自己最後留下的誘餌有一半把握。
“鹿島叔,結合你在NEC的經驗,你先說說你的看法吧!”之前,鹿島智樹沒怎麼多說話。
在餘子賢看來,鹿島智樹在NEC供職時期,何曾愁過裝置的問題,所有的一切都有NEC操心,鹿島智樹他們只負責生產運維就行!