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713 搞出光刻機,挺直腰桿子(4k) (第3/4頁)

“可不是嘛,快趕上小霓虹了!”

孫紅軍嘿然一笑。

就像霓虹在新能源上梭哈錯了氫能,在光刻機路線上,不去梭哈溼刻法,而是全力押注幹刻法,卻失敗了,白白耗費人力財力時間。

今後,邏輯的光刻機就可以跟尼康、佳能競爭低端光刻機市場,先幹翻了小霓虹!

“所以啊,尹教授,我知道你很急,但你先別急,ArFi會有的,EUV也會有的!”

陸飛環顧四周,激勵士氣。

“陸總!”

尹志堯鄭重地點了下頭,他作為中微半導體的領軍人,非常清楚邏輯是兩條腿走路,既跟微電子為首的單位合作ArFi光刻機,又跟長春光機為主的科研所研究EUV光刻機。

而且滿世界找幫手,比如徠卡。

“老孫,這次的獎勵方案做出來了嘛?”

陸飛側目望向孫紅軍。

“已經擬出個初步方案,就等您來定。”

孫紅軍應了一聲。

“嗯,但凡這次參與光刻機專案的,哪怕是擰了個螺絲的,也要多發獎金!”

&n有了,還怕沒有ArFi?沒有EUV?接下來我們就向32nm、28nm,甚至28nm以下的發起衝擊,不管是10年、20年,還是多長時間,也要搞出來!把這顆工業明珠給我摘下來,當彈珠賣!”

“我就是怕耽誤了先進製程工藝的程序,畢竟我們買不到最先進的DUV光刻機。”

尹志堯臉上露出一絲愧疚。

“梁博士,你的意思呢?”

陸飛把目光投向梁孟松。

“陸總放心,難度肯定是有的,但我可以保證,32nm,今年下半年就能風險性試產。”

梁孟松話鋒一轉,說出難題。

晶片代工製造的過程非常複雜,需要多方面的技術和裝置支援,就像14nm是個關鍵的分界線,28nm也是個關鍵的分界線。

但裝置還不是他最擔心的,他最擔心的是中芯被臺積電打倒之後,下一個就輪到邏輯。

“這種情況我不是沒有考慮。”

陸飛擺了擺手:“所以才把邏輯、澎拜的三分之一的產能放在臺積電,就是讓章忠謀顧慮,既想對付我們,又怕失去我們的訂單。”

“可按我對章忠謀的瞭解,肯定不會善罷甘休。”梁孟松憂心道,“另外還有三星……”

陸飛笑道:“梁博士,三星現在的技術負責人還是蔣尚義,哪怕拿到了EUV光刻機,你覺得他有這個能力帶領三星衝擊製程嗎?”

“沒有!”

梁孟松想也不想,“沒這個可能!”

&n工藝,三星還是靠我們,很難說不會又在一個節點上卡住,難以突破。”陸飛嚴肅說,“這麼一比,臺積電才是我們最大的敵人!不管現在,還是將來!”

&n,然後最早在明年轉向28nm,我們的進度並不比臺積電慢。”梁孟松自信滿滿。

“梁博士,假如,我是說假如,假如沒有最先進的代工廠給邏輯造晶片,假如邏輯還造不出比較先進的光刻機,假如……”

陸飛把前世華為遭到的打壓說了一遍。

“陸總,這種極限施壓情況下,也不是沒有辦法,可以考慮多重曝光技術。”

梁孟松沉吟片刻,一一列出優缺點。

尤其是缺點,雖然經過多重曝光工藝,可以改變光刻機的製程極限,但良品率低。

而且每次曝光都需要校準,而對準誤差會在多次曝光中積累,進而影響晶片的質量。

“除了損耗,就是成本,多次曝光需要更多的光刻膠、耗材和裝置,這個投入可能……”

不等梁孟松往下說,孫紅軍突然打斷。

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