而這批技術的最新時間點是1994年的。
按照這個時間線以及瓦森納協定的精神,1993年問世的0.35微米工藝,我們是完全可以在華國生產,而不用擔心阿美莉卡的長臂管轄。”
他頓了頓,眼中閃過一絲精光,“而半年前,華國的技術水平還停留在1984年的1.25微米水平。
我們就算他們能採取跳躍式發展,也不可能在短短一年內完成1微米、0.8微米、0.6微米、0.35微米四代工藝的跨越。
說到這裡,他哈哈大笑了起來,“更何況他們還在使用436nm G線光源,而且還是接觸式路徑。”
江尚義聽後也露出了笑容。
這是他們曾經走過的老路,是再熟悉不過的。
接觸式路徑,掩模直接貼在矽片上進行光刻,不僅容易造成汙染,而且掩模的使用壽命也相對較短。
後來的接近式光刻技術對此進行了改進,透過在掩模和矽片之間形成一層薄薄的氣墊,使兩者不再直接接觸,提高了良率也提升了掩膜的壽命,這大大的降低了成本。
但氣墊的存在,又會影響成像的精度,所以G線光源的最高製程也只能達到0.35微米工藝。
&n的I線光源,其最高製程工藝可以達到0.25微米。
再往下發展,就必須採用第三代光源,即波長248nm的KrF(氟化氪)準分子鐳射,它能夠實現130nm的製程。
至於第四代光源,則是目前最先進的193nm ArF(氟化氬)準分子鐳射。
按照林本堅的理論,這種光源透過浸入式技術,理論上可以將製程推進到22nm,甚至在孫元成根據David Mann公司的重複曝光理論推測,還能更低。
章忠謀聳了聳肩,語氣中帶著濃濃的不屑,“從G線到I線,我們用了整整16年的時間。
即便華國存在所謂的後發優勢,他們也不可能在短短半年內就達到那樣的技術水平。
況且,半導體產業是一個高度複雜的綜合性產業,製造一顆晶片需要經過1000多個不同的流程,整個生產系統由上千個不同的部件組成,僅一個光刻機就包含了8萬多個精密零件。
而這些零部件,他們大半都沒法自產,到時候隨便哪個環節卡他們一下,他們的光刻裝置就出不來的。
所以,尚義,你說,在如此短的時間內,他們真的有可能達到0.35微米的工藝水平嗎?
只要他們沒法在我投產之前,也就是一年後達到0.35微米的水平,且成本和我一致,那他們就沒有機會了。
因為這是一個生意!
市場沒道理放棄便宜的產品而去使用貴的道理,這完全不符合商業邏輯。
而我在國內建廠,拉著地方機關引進了國有資本,那就算講政治邏輯,我們也不會被剔除出去的。
說實話,我還希望倒是他們講政治的,我們有國資在裡面,炎黃集團是民營,我看這局面他卿雲又能怎麼破!”
章忠謀的話語中透露出強烈的自信,讓江尚義也不得不點頭承認,他的擔心是多餘的。
“所以我們牢牢把控住0.35微米這個關鍵節點。
&n KrF氟化氪準分子鐳射光刻技術和配套工藝技術,我們只在內陸生產0.35微米制程以上的產品。
那麼即便他們到時候竊取或強行佔據了我們的裝置和工藝,又能有什麼實際用處呢?”
眼神裡閃過一抹狠辣,章忠謀呵呵冷笑著,“尚義,我的目標非常明確,就是要將0.8微米、0.6微米和0.35微米這三個製程的產品價格壓到白菜價,利用我們龐大的規模和成本優勢,徹底拖垮他們。
這個世界上沒有比內地更低的產業生產成本了,只要牢牢的佔據內地,我們可以在世界上立於不敗之地。
而後,便是以待天時!只要我們還活著,什麼都是有可能的!”
……