其中鋁都不用考慮摻雜擴散的問題,只是用於沉積。
某退休老頭:真是太好玩兒了.jpg。
而NMOS和CMOS的難度,可就比PMOS大多了,PMOS別的不說,至少做邏輯積體電路沒問題,而且,這玩意10μm的製程是能做C8008的,其實做更高的製程也沒問題。
選定了PMOS,高振東很快就把工藝路線給確定下來了。
不要最後一步鈍化,4次光刻,只到金屬光刻完成為止。
至於為什麼選這個,當然是因為簡單了,而且他一開始是做比較粗的製程的,這個程度也就夠了。
而且,少這一步,成本也會下降。
先把邏輯閘電路拿出來,支撐住DJS60D的生產,然後再去搞更好的。
先解決有沒有,再解決好不好。
選定了這些,抄起書來,那就快了,高振東花了一個下午飛快的把書抄完,第二天一個電話打給了已經有點兒望眼欲穿的1274廠。
一個多小時過後,呂廠長和魯總工帶著人聯袂而至,就等著這一天呢。
看著高振東給出的工藝設計指導檔案,兩人有點懵,這玩意比起原來的,怎麼還變薄了?
先進技術,必定複雜,一旦複雜,那資料就會很厚,大家都這麼想。
“高總工,這工藝是先一部分一部分的做,這裡是前期我們要做的事情?”魯總工問道。
高振東一頭霧水,我什麼時候說過一部分一部分做了:“沒有啊,這裡就是全部了。”
“全部?”兩人大驚失色,這怎麼可能?
高振東笑著把工藝的簡單概況給他們解釋了一遍,兩人陷入了“我不懂,但我大受震撼”的狀態之中。
高振東只好解釋了一下:“PMOS技術雖然新一點,但是從工藝上來說是要簡單一些的,最符合我們現在的情況。”
魯總工大喜過望,對著雙極型電晶體半導體那複雜的工藝摳掉了半腦袋頭髮的他,覺得這是今天聽到的第一個好訊息,也是最好的訊息,高總工有才啊。
“高總工,你是說這個技術,只要這麼幾次光刻,幾十步工序,就能完成雙極型半導體要一百多步工序才能完成完成的事情?”
高振東笑道:“技術的發展其實本來就是這樣的,先進不等於複雜,有的先進技術可以簡單到我們難以想象。”
甚至看起來還超級土鱉,高振東心想。
對於高振東,他們兩人還是很相信的,這位說的話,基本上還從來沒有落空過。
“高總工,這太好了,我們需要做什麼?”
高振東道:“我看現在廠裡的情況,是有擴散爐的對吧?”
呂廠長點點頭:“是的,這是我們基礎生產裝置之一,很多。”
“那最高的溫控精度有多高?到得了正負1攝氏度不?”高振東問道,這個精度涉及到擴散摻雜效果。