萬千的目光再一次刷地射向了山上一郎。
但他毫不在乎。
一個天才的設計方案?就能把arf193nm的波長變成134nm?
鬧著玩呢這是?
臺上,蘇遠山也在看著山上一郎,他知道這位老兄進尼康就在磨玻璃,對光源系統極為熟悉——反正蘇遠山在光學領域,在對方面前就是小學生級別。
但蘇遠山毫不在乎,也很能理解山上一郎為什麼會在這種場合失態。
別說現在猛地聽到遠芯保密了三四年的技術,就算是歷史上,當林本堅拿著詳細的論證找上門的時候,尼康佳能都沒正眼看人家一眼,並認為這傢伙純粹就是個瘋子,讓臺積電好好管一管,找點藥給他吃。
&nl當時人小勢微,雖然被intel拉著進了euv聯盟畫了大餅,但在市場上,依舊不敵霓國人,必須彎道超車才能贏得了的樣子……所以最終才選擇了信任林本堅。
但蘇遠山也並沒有回答山上一郎。
因為他看到,和山上一郎只隔著一個作為的李明柳已經看了過去。
&nmersion。”李明柳身子前傾了一點,把自己暴露在了山上一郎的視線中,並給出了個英文單詞。
“什麼?”聽到聲音,山上一郎瞬間轉頭望向李明柳。
&nmersion,浸潤式光刻。”在遠芯諸多技術大佬中,李明柳向來以嚴肅著稱,常年執掌遠芯第二大研發基地的他如今身上早就多了幾分所謂的“威嚴”,凡事喜歡點到為止,不想說過多。
惜字如金的兩句後,李明柳便恢復了坐姿。
臺上,蘇遠山也只是一笑:“訊息我是帶到了,信不信那就……好吧,其實我是相信的。”
說完後,蘇遠山離開講臺,對臺下微微鞠躬,然後退場。
直到這時,就如同一盆冰水上丟了一坨燒紅的鐵塊,整個會場瞬間便沸騰了起來。
——和霓國人不一樣,國內半導體行業對蘇遠山有著近似迷信一般的信賴,在先前短暫的懵懂狀態後,此刻立刻陷入了興奮和激動中,會場剎那間便變成了菜市場。
李明柳的聲音說得並不大,靠後的與會人員並不能聽清,但不妨礙他們挨個拍著前排的肩膀一路問下來。
在一片嘈雜中,山上一郎重新坐了下來。
他腦子慢慢恢復了清醒。
他理智上無法接受,但理智又告訴他,這……極有可能是真的。
因為蘇遠山,沒有必要在這個時候這個場合來騙人。
——因為一旦被證實是假訊息,那麼非但是蘇遠山個人的聲譽,宏芯的聲譽,乃至整個內地半導體行業的聲譽,都將受到毀滅性的倒塌。
浸潤式光刻?
難道放水裡?
瘋了吧!
這時,蘇遠山的聲音透過幾個座位慢慢傳來。
“透過在鏡頭與襯底之間加入於玻璃折射率接近的水,減小物鏡射出的光折射角,從而提升物鏡的孔徑,提高解析度。根據cd=k1*λ/na,用水替代空氣後,就相當於193&n 波長等效縮短到134&n。”
“而且……它不需要重新研製光刻膠。”
蘇遠山看著在自己身旁圍成一圈的眾人,嘴角微微一翹。
“具體的技術和訊息,還請大家關注宏芯的相關釋出會。”