下午的會議,鄭振川就沒有再參加了。
但遠芯對半導體行業的討論仍然在繼續。
“過去十幾年,我們一直在和intel比工藝,截止去年,我們都已經走到了成熟的45nm節點上。”張汝金戴上了老花鏡,瞥了一眼手中的檔案,臉上是不甚唏噓的感慨:“不得不說, intel還是很厲害的,我們每次有領先,他們總是能夠及時的追上來甚至還能反超。”
“摩爾定律就是這麼實現的。”蘇遠山笑著補充了一句。
“是啊,但今年我們可以提前一大步了。”張汝金笑呵呵地望向眾人,但主要的視線還是停在蘇遠山的臉上。
畢竟,這與會的多人裡,還是蘇遠山對半導體工藝理解得最深刻。
“最遲年中,我們就可以推出基於22nm的finfet工藝, 把晶圓的電晶體密度再上一個臺階。而且我們目前的DE技術已經成熟,目前正在向SADP技術轉移,從技術的角度,是可以支撐我們的工藝在DUV的條件下把製程繼續往下探,或者說,等效製程往下探。”
//DE(double exposure,雙重曝光),SADP(selfaligned double patterning自對準雙重成像)
“如果intel跟不上,那這將會是一次巨大的領先!”張汝金紅光滿臉,終於忍不住有些激動起來:“製程進入到22nm之後,finfet將會是唯一的選擇,最起碼目前是。”
在場的眾人並不是每個人都對半導體工藝有理解, 見到身邊的周小慧露出遲疑的神色,蘇遠山就輕輕咳了一聲,笑著替她解釋道:“目前的電腦晶片一直採用mosfet結構, 嗯……準確的說, 是NPN接面構……”
見周小慧還是有些不懂,蘇遠山便放棄瞭解釋, 直接道:“反正就是, &nosfet結構中的溝道長度。溝道越短,電阻越小,效能越高,同時電晶體密度也就越大,所以才要不斷提升製程。”
“哦?然後呢?”
&nosfet結構的話,當溝道長度越來越短,譬如22nm之後,源極和漏極之間也會越來越近,電場也越來越近。”蘇遠山說著伸出雙手靠近,然後把自己的筆記本放在手上:“我的兩隻手就是源極和漏極,電流從源極流入,漏極流出,併產生電場,當它們距離過近,就會干擾到上面的柵極,從而漏電——我們把這個效應稱為短溝道效應。”
“而finfet結構就是為了解決這個問題而誕生的,甚至還因為它的結構是把電晶體豎了起來——譬如我豎起了手掌——從而可以獲得更高的電晶體密度之外, 還能很好地解決短溝道效應。所以,&n是今後高效能晶片是否採用finfet結構的一個分水嶺。”
“等效製程呢?”
“等效製程就是,在finfet結構下的電晶體數量,按照mosfet結構來算的話,需要多少的製程才能達到。譬如一個晶片採用finfet結構,有100億個電晶體。用mosfet結構的話,要達到100億個電晶體,溝道長度需要縮短到14nm——於是我們就認為這款晶片的等效製程是14nm。”
“懂了吧?”蘇遠山目光灼灼地看著周小慧。
周小慧抿嘴一笑:“不是很懂。”
蘇遠山:“……”
對面的一群人便樂了起來,丁壘一邊笑著一邊打趣道:“感覺夢迴90年的課堂。”
“好吧,反正只需要知道這個工藝很有意義,十分有意義。”
“那能拿北極星麼?”周小慧眨了眨眼,好奇地問道。
然後眾人便齊齊地望向蘇遠山。
北極星已經開了兩屆,而且和當期的諾獎裝車率極高,這一下就拉高了北極星的“逼格”。