面對蘇遠山帶著期許的眼神,林本堅有點不好意思起來。
回國之後,他便和之前一直遠端聯絡的趙凱東團隊一頭扎進了193nmArF光源的研發中。現在正是小有成就,看到曙光的時候……
&n之後的事。而且長期呆在矽谷,他對燈塔國的技術實力和技術遠見是再瞭解不過了。
既然燈塔國那邊都已經瞄準了EUV,顯然,這意味著必定是個方向,起碼也是之一。
不過……既然蘇遠山問的是“妙招”,而不是下一代光源的方向……
那林本堅倒還真有點想法。
“妙招談不上,只是在很早之前有點不成熟的想法。”林本堅有些靦腆地笑道。
蘇遠山眼睛亮了起來:“林叔您說。”
“我在幾年前發過一篇論文,當時就想過,如果無法從光源上縮短波長,那麼可以考慮其他物理手段來實現。譬如在鏡頭與曝光區域中間加上一層水,這樣就能把波長降下來了。”
說著林本堅便簡單介紹了一下自己的思路。
聽完林本堅的介紹,這邊蘇遠山還沒說什麼,趙凱東和梁夢松便齊齊一楞——他倆人都是和光刻機老打交道的工程師,立刻便意識到這想法有點過於異想天開了。
趙凱東道:“老林,你這個怕是不好搞吧?”
梁夢松也點頭:“有點過於……咳。”
林本堅只是笑了笑,他現在也沒空去整理方案,只是隨便一說,自然不指望說服這兩人,而且這也不是什麼迫在眉睫的事情……
於是,他們三人都沒有見到,蘇遠山眼中升起的笑意。
“嗯,總算有個想法,什麼時候我找看您那篇paper看看。”蘇遠山笑著點頭:“現在我們主要還是得解決193nm的問題。”
“現目前,實現了ArF鐳射光源的主要有兩家,一個是Cymer,一個是小松。我們和斯塔爾,IBM之流只能說在後面追趕……但我相信,追到最後,還能咬著光刻機光源的應該就只有我們一家。”
//注:小松株式會社,00年與USHIO聯合成立Gigaphoton,加上Cymer,自此進入Arf光源雙雄時代。當然,Cymer獲得ASML的支援在EUV光源上拉開距離,又是另外一個故事了。
蘇遠山的話,自然得到了所有人的認同。
歷史早就證明了,只要你敢沒有這個技術,國外就敢搞封鎖,要不賣高價。
——其實這種事兒遠芯也幹過。去年遠芯在北美髮布的MP3和Vidoo5m,為什麼賣那麼貴?真以為成本高昂?
當然還是因為當時只有遠芯一家推出了MP3功能。
今年的北美髮佈會上,在同行們紛紛推出同樣功能手機和MP3後,Vidoo6m的首發價早就降了下來,而且到現在已經進行了兩輪的價格調整。雖然依舊還是市面上最貴的手機,但起碼價格不會高得逆天。
“小山,不過我現在有點擔心。”趙凱東接過蘇遠山的話道:“老趙那邊催得倒是兇,說什麼要自主自產,但他現在和小松,Cymer接洽得很頻繁。到時候別我們把光源系統搞出來……他不用……就有點煩了。”
蘇遠山還真的怔了一下,他仔細想了想,頓時樂了——好像,似乎,大概……鄭振川真能幹得出來這種事!
要知道,鄭振川是鐵了心的要把光刻機搞上去。
而且鄭振川也比任何人都知道,光刻機走到最後,一定會是“萬國造”。
就目前而言,沒有任何一個企業,一個國家,能夠完成越來越精密的高階光刻機零部件全部自產。
所以在鄭振川看來,國內光刻機要真正崛起,絕對不能只盯著國內市場——那樣只能造出一堆運用在低端產業鏈上的光刻機。
所以……鄭振川積極與世界先進的零部件供應商接觸,那自然無可厚非。
其實別說鄭振川,就是蘇遠山也是這麼幹的!
——只要國產光刻機一刻不能追平尼康佳能,那德遠的光刻機首選便必定是尼康佳能。
換言之就是,只要遠芯這邊的光路系統一刻不能追上Cymer、小松,那鄭振川的光路系統首選便必定是Cymer,小松。
“天道好輪迴啊。”蘇遠山大笑起來:“我們借鄭叔他們逼國外賣我們光刻機,鄭叔他們借我們逼國外給他們提供光源系統……”
趙凱東一邊摸著稀釋的頭髮,一邊搖頭,絲毫不覺得臉紅地笑道:“嘴裡說著支援,實際上都是利用,就跟我們催長光所一樣。”
要知道,光源系統可不是單獨的一個鐳射器,還包含了整個光路解決方案的透鏡組和整套控制方案。
現目前,實驗室這邊的物鏡系統主要還是採用的蔡司透鏡——比較有利的一點是,蔡司目前與尼康佳能等透鏡大佬競爭得很激烈,遠芯這邊還不愁採購。
但是,基於未雨綢繆,自主自產的方針。這邊實驗室也和鄭振川一樣,不停地給長光所的透鏡實驗室加油鼓勁……喊他們早日在技術上追歐超霓。
那麼意思也同樣是——只要國產透鏡一日追不上尼康佳能蔡司,那麼遠芯這邊便必定要選擇那三家,而且還得選最優秀的。
唯有這樣,光刻機才能在最終的產品市場領域裡擁有一戰之力。