汽車駛入張江高新區。
此時的張江遠不像後世那樣繁華,尚有大片的農村隱在竹林樹蔭之間,不過寬闊的水泥路面卻宣告了此地的未來。
廠門口,“芯德國際”四個鎏金大字閃閃發光——合資廠的中文名便在遠芯和德儀中各自取了一個字。
張汝金率領聖光峰,義大利人阿爾齊德,以及前來圈地的陳建國前來迎接。
陳建國自從回到遠芯開始搞銅製程之後便一直往全國各地幾個能搞化學氣相沉澱的實驗室跑,還跟著蘇星河教授出國去溜達了一圈。拿他的話說就是磨刀不誤砍柴工,先把理論上搞懂再說。
不過製程技術終究還是要落在實驗上,遠芯雖然也有一條組裝起來的晶片線,但礙於裝置和技術都落後,只能做權宜之計。
現在這邊晶圓廠落地,陳建國當然要把實驗室搬到這邊來了。
“張博士。”蘇遠山剛下車便大步上前,握著張汝金的手情真意切地道:“辛苦了。”
“不辛苦。”張汝金比蘇遠山矮了半個頭,他望著蘇遠山年輕的臉龐,自然也能感覺出這個年輕人對自己那種發自內心的尊敬——這其實困擾了他多時。
後來直到來到滬市,接觸到了遠芯的員工,繼而參加年會,和李明柳,姜濤等高層熟悉後,他對蘇遠山的瞭解這才算多了一些。
當然了,隨著陳建國這蘇遠山的親傳師兄過來,他對蘇遠山的認識這才算真正的立體起來。
也大概猜到了蘇遠山為什麼會格外的“尊重”自己。
和其他人一一握手,互相介紹後,張汝金率先前行了一步:“走,我們去看看光罩廠。”
光罩,也叫光掩膜版,英文名字叫Mask。是一種由石英為材料製成的,可以用在半導體曝光製程上的母版。從晶片生產程式來說,它屬於前期工序。
而這種從光罩母版的圖形轉換到晶圓上的過程,就像印鈔機工作一樣。
我們可以把光刻機想象成印鈔機,把鈔票母版的圖形印到紙張上的過程,就像光刻機把晶片圖形印到晶圓上一樣,都需要有母版,這個母版在半導體制造上就是光罩。
為了製造一款晶片需要幾百道工序,光罩也是不只一張的,原則上,工藝製程精度越高,需要的光罩數量也就越多。
&n工藝製程上,大約需要60張光罩,7nm可能需要80張光罩甚至更多。
當然光罩的品質要求也是不同的,對於某些對精度要求很高的工序,相對應的光罩對精度的要求時最高的,比如電晶體相關的光罩,而對精度要求不那麼高的工藝,比如Pad(打線孔)等要求就低一些,光罩價格也便宜一些。
先進製程對光罩精度的要求越來越高,同時不能有缺陷,所以光罩製造後的檢查也很重要。
(注:上面對光罩的解釋,引用的是全芯智造技術有限公司 BD總監韓明的知乎回答節選,在此致謝——我自己沒組織語言和加工是因為他說得太清楚了……)
因為光罩廠的生產工藝工序複雜,同時製程精度越高,需要的時間也就越長,因此它並不是一個晶圓廠的必備車間——因為晶圓廠完全可以委託其他光罩廠進行掩膜版製作,同時它還可以製造其他行業所需要的光罩。
之所以第一時間選擇建光罩廠,張汝金也是看到了這一點。
目前國內尚且沒有專業提供代工的光罩廠,張汝金能直接攜帶德儀的光罩技術過來,等建好後也能賺點小錢。
——當然,他是不知道,蘇遠山其實是打算在晶圓廠上先虧它個二十億美刀的。
“光罩廠的主要裝置幾乎都掌握在霓國那邊,包括核心的光罩寫入機。還好購買過程中沒有遇到太大的麻煩,霓國Nuflare公司那邊表示已經開始裝箱,馬上就能運送過來。”
張汝金帶著一行人沿著嶄新的水泥路面走向遠處的車間,一路走,一路介紹著情況。
蘇遠山抬頭瞥了一眼,只見整個科技園區儼然一座正在快速興起的城市,無數個工地忙碌非凡。
“算下來,最多半年時間,光罩廠就能投入執行了。”
“嗯,到時候我們去跑跑業務,乾脆讓華晶那邊把光罩廠撤了。”蘇遠山開著玩笑道:“一次流片過程中,光罩的製作成本太高了,華晶技術不行,成本更高。”
“主要還是技術。”張汝金笑道,同時轉向陳建國:“陳博士,聽說你有一項掩膜版的專利?”
陳建國有些不好意思的點頭:“當初在聯電和他們聯合制作掩膜版的時候,有點小靈感。算不了什麼大突破。”
“呵呵,有點進步就是好的。哪怕一個專利只夠為一片晶圓減少一美元成本,這也是增加了競爭力啊。”
“那是。”蘇遠山替師兄接過話,他知道自己師兄不善言辭,笑道:“特別是時間成本,在半導體領域,時間是很大的成本。”
參觀完廠區已經臨近六點,或許是老聽遠芯的員工說蘇遠山從來都是吃員工餐,因此張汝金也就沒有另外安排,而是直接在廠裡食堂請了蘇遠山一頓。
不過他倒也不好意思請大家吃鐵盤盒飯,好歹擺了一桌,只不過菜還是大鍋菜罷了。
嗯……蘇遠山當然不挑剔,只不過這邊的飯菜他不怎麼習慣。
晚飯後,張汝金把蘇遠山等人送出園區,並定下明天上午十點,蘇遠山再次到他辦公室會面。
……