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第143章 雙工件臺的設想 (第1/2頁)

在實驗室內,蘇遠山遇到了意想不到的人。

“鄭叔?”

鄭振川正帶著研究員站在原子力顯微鏡前觀察著什麼,這讓蘇遠山頗有些驚訝。按理說鄭振川這邊用不著原子力顯微鏡的。

蘇遠山建的物理實驗室當然不是隻有他自己用,而是統一歸於科技園實驗室中心管理。任何人只要打個申請就能使用。

“我來分析一下第一次曝光後的矽晶圓表面。”鄭振川呵呵笑道。

“喔,那你們繼續。”蘇遠山決定不打擾對方。

“沒事,我們已經弄完了。”鄭振川走向蘇遠山,想了想道:“小蘇,你上次提到的雙工件臺設想,我們所裡考慮了一下,發現難度很大,感覺根據現有的條件走不通。但一旦實現的話,確實對於光刻機來說,會是一個極大的提升。”

“嗯,沒錯。終於走不走得通……”蘇遠山笑了笑:“我們先不忙考慮其他,僅從設計角度上來說,可以設計出這樣的機械裝置來配合光刻機嗎?”

鄭振川笑道:“這當然可以,只要是機械,就沒有設計不出來的。無非是精度、效率、體積罷了。”

“那不就結了?”蘇遠山攤手:“總得先試試,精度效率先不管,先管體積,先搞出來再說。”

“只是那非一朝一夕啊。”

“慢慢來嘛。”蘇遠山呵呵一笑:“我出錢的都不著急呢,這玩意哪怕十年弄出來也沒啥。但只要弄出來了,那就是大殺器,對吧?”

鄭振川笑著點了點頭:“確實。”

蘇遠山呵呵一笑。

ASML之所以橫掃全球,除了率先搞出193nm浸潤式光刻機之外,雙工件臺也是它的獨門絕活。國內是直到2020年了才搞了出來……

蘇遠山知道這些技術的難度,所以他壓根不急,而且也沒有辦法著急。

遠芯現在的研發底子和投入絕對是國內企業的頂級水準,但比起國外,還真的有差距。

這個差距不是體現在投入,而是體現在人才方面。

國外一來有著技術積累優勢,二來有著知識積累的優勢,還有著廣納人才的優勢。而遠芯這邊,除了晶片設計領域之外,其他領域都只有靠蘇遠山的“前瞻眼光”來完成超越。

說白了,就是蘇遠山只能讓人不走繞路。但路哪怕再直,也得一步步走下去。

所以這個科技園,算是蘇遠山強行在用錢砸。

好在國內人力成本便宜,所以遠芯能輕鬆養起上千個研究員。

但除了人力成本,其他的可就不便宜了? 遠芯這邊蓋樓加建立實驗室? 又給無塵室實驗室購買了蝕刻拋光離子注入等裝置,雖然都是二手的? 但整體下來? 十幾個億的人民幣就沒了。

這還沒算各個課題組的投入。

這時蘇遠山大哥大響起,他拿起電話? 對鄭振川笑道:“鄭叔,你們安心搞你們的? 錢這邊我來想辦法。”

“行。”

退出實驗室? 蘇遠山摁下接聽鍵。

“你好。”

電話中,一個略帶著一些緊張,又有些期待的聲音響起。

“你好,大佬!”

蘇遠山微微一怔? 臉上迅速瀰漫起笑意來。

他快步走進隔壁的辦公室? 然後關上了房門。

……

“小葉,怎麼想起給我打電話?”

蘇遠山坐到辦公桌上,笑眯眯地道。

“嗯……九月份我就要入校了。”

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