文森蒂在遠芯科技園呆了一天，他興致勃勃地參觀了遠芯除了無塵車間的以外的幾個部門，特別是在見識了移動通訊部門後，他表示大概也只有內地的遠芯才能在短短兩年內便組建如此龐大的研發小組了。
當然，他是不知道整個內地就只有遠芯這麼一號……而且還只能稱得上半個團隊。
第二天中午，蘇星河也回到科技園，以遠芯董事長的身份陪著文森蒂吃了頓午餐。期間蘇星河並沒有對提起合作的事——他需要用實際行動為兒子站臺，表示兒子才是整個遠芯的實際掌舵人。
……
“老蔣那邊在TB展會的時候相關企業接觸了一下，我們暫時可以確定，如果僅從裝置來說，其實我們現在就能湊出一個晶圓廠來，就譬如目前的實驗室。”
蘇遠山和父親走在一段長達三十米的葡萄綠蔭架下，這段葡萄架是蘇遠山去年就強烈要求移栽，說走在葡萄架下一來陰涼，二來結果的時候還能便走邊摘來吃，一想就美滋滋。
他想得倒是挺美，卻忘了這玩意最容易招引蚊蟲，要是運氣差點，走一圈腦袋上說不定能掉個臭蟲下來。
目前遠芯的無塵室裡，除了一臺光刻機之外，還有從NEC那邊淘來的洋垃圾，這些洋垃圾目前勉強能切割出五英寸的晶圓。再加上蝕刻和光刻等一套裝置，在不計成本低的情況下，遠芯實驗室倒也能搗鼓出幾顆晶片來。
蘇星河笑著望向兒子：“一個晶圓廠，製程工藝、技術很重要。”
蘇遠山點了點頭：“從某種意義上說，製程工藝超越了裝置。”
“國內之所以打包引進裝置和工藝，一來是什麼都沒有，二來也是寄望於能夠吃透技術後進行工藝升級，但現在看來這條路快失敗了。”
蘇遠山抿著嘴，望向葡萄架的盡頭，眉頭緊鎖：“製程工藝到了後面其實就是拼數理化，而我們這些基礎學科的現狀……說實話，沒有洋專家，沒有帶技術迴歸的海歸，真的很難搞定。”
作為站在“人造物品”最巔峰的晶片行業，工藝技術的重要性其實要遠遠大過裝置——最簡單的例子，在後世，臺積電的7nm一騎絕塵，格羅方得，三星，聯電、TI之流拍馬也追不上?&n更是跳票多年——要知道? 他們可是沒有任何限制的。
至於後面三星追上，也是因為老梁過去了。
想到梁孟松蘇遠山就一陣心疼? 去年梁孟松依舊沿著原先的軌跡跳槽回到了臺積電。而彼時的遠芯? 是連和人家接觸的資格都沒有的……
人家是晶圓廠的製程工程師，遠芯連半條生產線都沒有? 怎麼挖人？
“慢慢來。”蘇星河見兒子皺眉，笑著拍了拍他的肩膀? 安慰道：“聽說建國在無塵室那邊? 是在研究製程技術嗎？”
“嗯，算是。我讓他摸索一下銅互連技術。”蘇遠山說著自嘲地一笑：“我們想得太遠，走的太快，現在能幫得上忙的人很少。”
這裡的銅互連技術? 自然指的是把積體電路互連層? 用銅金屬材料取代現有的鋁金屬互連材料的一種工藝，相比較鋁，銅良好的電阻和耐溫性。是未來提高頻率的核心製程技術。
臺積電便是在0.13微米制程下搶先開發出銅互連，一舉超越了聯電。
現在蘇遠山提出概念早了將近五年。
蘇遠山當然不可能掌握銅互連工藝，但他知道方向。
由於銅在二氧化矽中擴散係數很大? 同時粘附性也很弱，因此在銅互連導線外面必須要有一層阻擋層來阻擋其擴散。而為了更好地鍍銅? 還需要先在製程電路上生成一層薄薄的Cu籽晶層……
而生成Cu籽晶層的方法，又有物理氣相沉澱和化學氣相沉澱以及原子層澱積之分。
當生成銅籽晶層後? 便可進行電鍍，最後拋光完成互聯。
而目前? 陳建國便在惡補相關知識? 同時全國亂竄? 到處拜訪相關領域的專家。
作為師弟和課題提出者，蘇遠山只能從金錢上支援他……
……