蔚藍海岸實驗室,紫星光刻機無塵工作室。
今天一早,羅晟接到訊息便來到了這裡,此時在這間兩萬多平米的無塵室,幾十名工程師和羅晟都穿著工作無塵服在裡面,他的手裡正拿著一塊晶圓流片反覆觀察欣賞,這尺寸間的藝術正是紫星光刻機的傑作。
站在他身邊的一位工程師興奮使然的道:“光源的轉換效率達到了一致,也實現了正確的控制,團隊攻克了250瓦光源,客戶可以達到每小時155片晶圓吞吐量,而在實驗室裡,則是可以實現超過300瓦的光源功率,完成最後的測試紫星裝置就可以正式出貨了。”
全球幾家頂尖的晶片製造商一直以來都堅持250瓦的光源功率是達成每小時155片晶圓生產量吞吐的必要條件,而ASML與光源技術供貨商Cymer到現在為止還未能實現這一光源功率目標,這家公司兩年前被ASML收購,但進展有限,這也是ASML在進來發展不順的原因,雖說他們已經提前一步搞出了極紫外光刻機了。
羅晟把手裡的流片交給旁邊的工程師,笑道:“幹得不錯,我們現在可以有底氣說出半導體制造裝置最重要的光刻機,我們領先世界了,國內的半導體廠商拿著大把的鈔票去求著ASML購買還得看對方心情這種局面,該結束了。”
在場的人聽到這話也是倍感振奮,在羅晟的話音剛落後,都止不住內心的激動心情而鼓掌,為國產半導體事業里程碑式的突破而鼓掌,也為自己的事業為自己鼓掌。
兩千多個日日夜夜的奮戰,不為別的,就為了爭一口氣。
幾萬名工程師、研究員、幾百家廠商配合,集中火力朝著一個點不斷的發起火力衝擊,而羅晟在這兩千多個地球日照迴圈裡,僅僅在極紫外光刻機裝置的研發上就投入超過了1000億美元,是ASML公司在極紫外光刻機研發投入的五倍之多。
但毫無疑問,這一切都是值得的。
被調來負責紫星光刻機專案的總監李淳勝道:“與業界2012年約25瓦的光源相比較而言,250瓦光源意味著十倍的進步。而ASML的工程師在簡報EUV生產經濟學時很無奈的表示:250瓦光源功率永遠都是明年的目標,哈哈。”
國產半導體一直不如外國人,國內相關從業者的信心在很長一段時間是備受打擊的,這一次的突破不但是切切實實的成果突破,也給國產半導體事業的有志之士們莫大的信心。
信念這個東西聽起來有點玄,尤其是從事科技工作,但有時候真的很重要,這是士氣問題。
紫星光刻機成功先於ASML公司的NXE搞定,雖然對方遲早會解決這個問題,並且也不會等太久了,但這在半導體裝置領域絕對是里程碑式的事件。
因為這將打破全球半導體產業鏈的格局,也必將會推動整個行業進入全新的時代。
羅晟看著在場的技術員們,他能看得出每一個人此刻的內心都很難平靜,道:“外面總有人一直說我們技術開發不可能成功,我們的人才不如外國人。確實花了很長的時間,很大的人力、物力和財力的投入,但我們終究還是抵達了終點,走到了外面所有人都認為不可能走到的地方。”
值得一提的是,除了達成光源功率這一里程碑,還有紫星光刻機工具跌對效能的大幅改善,以及產業界在布建紫星光刻機基礎建設方面的進展也傳來捷報,包括光罩、光罩護膜以及光阻劑等。
隊伍裡出了一些豬隊友,但大部分還是靠譜的。
極紫外光刻技術的突破,意味著摩爾定律的生命再次得到延續,但這不是一家兩家廠商能完成的,對於國產積體電路事業而言,外國人根本不帶你玩最高階的,只給你玩他們玩剩下的。
所以羅晟打造的國產半導體產業鏈,只能自己一點一點的搞起來,光是資金就付出了國外競爭者的五倍之多,還需要整個半導體產業鏈中的材料、裝置、知道等各大細分領域齊心協力,就像是團隊遊戲闖關一般解開一道道技術難題,才能順利的朝著目的地前進。
這其中的困難不是三言兩語就能概括的,期間團隊的磨合、與上下游廠商的利益糾紛、技術上的分歧等等都是問題,都要解決。
還有在此過程中像鵬星精密這種騙錢的豬隊友,這才是羅晟最氣的,騙他的錢無所謂,他有的是錢,但因為這個事情而耽誤了開發進度才是最無奈的。
半導體產業與其它行業最大的不同點就是需要各大細分領域一起衝關,你這裡掉個鏈子,其它環節沒問題但為了等你不得不放下腳步,在此期間只能乾瞪眼,木桶效應在這個領域被放大。
顯然,這對於其它環節廠商來說當然是氣的罵娘。
“淳勝,你通知各技術部門負責人,十分鐘後開個小會。”羅晟交代了一句便離開了紫星光刻機無塵室。
“好的。”李淳勝。