對方是做繼電器、電子元器件的,高振東大概就知道對方想拿6013做什麼了,接觸材料,而且大機率是用於極為重要的專案的,否則這年頭鎢銀材料的價格還是有點咬手,等閒不敢用。
高振東不太在意人傢俱體拿來幹什麼,他在意的是對方的身份和廠子。
對於高振東來說,如果日後想把直投光刻進化為微縮投影光刻,那麼工件臺、掩模臺運動的自動控制這一步就躲不過去,特別是工件臺。
而工件臺的自動控制,那麼就意味著工件臺在運動過程中的定位這個問題就浮出水面了。
好在以現在的精度要求,工件臺的運動控制是使用的手搖驅動齒輪、絲槓減速機構,這東西有個好處,其運動狀態的比值是可以確定的,比如透過齒輪齒比、絲槓纏距等等引數直接計算就行。
這樣一來,就好辦了,把手搖轉為電機,然後直接測量驅動齒輪的轉動情況,就能直接算出工件臺最終運動的距離了。
而這個初始驅動齒輪的轉動情況的測量,最好的辦法,毫無疑問就是多圈旋轉編碼器,至於是相對編碼還是絕對編碼問題不大,兩者之間其實技術是共通的,只是絕對編碼更復雜一些,而高振東現在的要求,多圈旋轉相對編碼器就夠了。
至於絕對和相對的區別,主要就在於絕對編碼器轉軸的位置與輸出值是嚴格對應的,輸出的是一個數字,透過輸出可以確定轉軸所處的角度。
而相對編碼器輸出的是不是一個數字,不論以什麼方式輸出,其核心是一個與轉速、方向、轉過角度有關的訊號。
如果用導航系統來打比方的話,絕對編碼器的輸出類似GPS的輸出,直接就是結果,而相對編碼器的輸出類似慣性導航系統的輸出,最終結果得靠對輸出進行解算。
這兩種方式沒有高下區別,只是應用場合的不同,比如電機自控制,一般場合下絕對編碼器就沒有相對編碼器好使,後者輸出的頻率訊號可以在經過簡單處理轉換後直接用於驅動PWM電路,控制電機轉速。
只是這東西吧,國內自己生產,已經是80年的事情了,在這之前,從50年代開始就是一直使用的進口貨,而且還不太好進口。
高振東想透過專業元件廠的同志,搞清楚現在能不能搞到編碼器,能穩定搞到什麼樣的編碼器,哪怕同是多圈相對編碼器,其中的區別和門道還是不少的。
如果能穩定搞到合適的,那就不用去折騰這個事情了,如果不行,那說不得要在這方面動動手了。
想了半天,高振東發現這個事情還不如直接去問十二機部,那邊響應肯定比廠子要快,情況更全面,而這個廠子的出現,主要是起到了提醒自己的作用。
把電話放下,高振東叫人去叫小李。
一會兒小李就跑來了,進門就喊:“老師,有什麼要我去辦的?”
看著他的樣子,高振東突然有一絲恍惚,一年多前,自己進師父辦公室大概也是這樣子吧。
搖搖頭笑了,高振東扔了一根菸給他,走到沙發邊坐下來。
“兩個事情,第一個,你去找我們部裡,對接一下,有廠子需要我們的6013材料,你去落實一下這個事情。第二個,向十二機部呈文,詢問一下現在國內旋轉編碼器的情況。”
前一個事情全是細節,還涉及到保密工作,小李去組織落實正好。
後一個非常籠統,對辦事人員的能力也沒啥要求,但是不適合大張旗鼓,小李去辦也正好。
小李把高振東的話記下來,高振東又給他補充了一些相關情況和注意事項,拿著筆記本轉身就跑,辦事去了。臨出門,還找高振東要了剩下的半包煙,直言老師的煙比較好一點。
——
十二月十六日,高振東接到了十二機部的電話,和旋轉編碼器的事情沒有關係,而是他請十二機部確認的光刻膠和光學系統的事情有眉目了。
光刻膠方面,已經有同志搞好了一種負光刻膠以及配套的藥物,速度還是很不錯的。
高振東不在乎是正光刻還是負光刻,只要能確定是哪一種,他就能展開下一步的工作了——做掩模。
不知道能搞出來的光刻膠的正負,這一步就走不下去,原因很簡單,兩者的掩模是反的。
至於另外一個東西,也有了明確的訊息。
東北光學所已經把第一步的光學系統搞出來了,也就是把一束鐳射擴散為直徑160mm平行光的問題。
其實這一步的光學系統並不是特別的困難和複雜,之所以花了這麼長時間,主要是光學系統不是把幾個透鏡擺上去那麼簡單。
哪怕第一步並不需要重新聚焦,但是擴束準直、均質這些光路還是少不了的,而且還要考慮工程上的可靠、可用、調節、維護等問題,可以說,光路的設計,只是這裡面的一部分。