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第523章 咱們工人有力量 (第1/2頁)

工件臺又一次加熱矽片,給工件做了一次堅膜,加固已經保留的光刻膠,進一步清除不需要的那部分膠以及其他成分的殘留物。

堅膜完成之後,矽片被再次從頭開始,開始了第二次的光刻流程,用的還是那塊標準掩模。

顯影完成後,二次光刻的光刻膠被固化,多餘部分被清除,矽片被送到了顯微鏡下。

剛剛把矽片表面的清晰顯微影象跳出來,馬娟就語帶欣喜的啊了一聲。

“師兄,有了有了,能看出來,精度好高啊!”

馬娟一邊瞄著顯微鏡,一邊嘴裡喊著。

對於套刻精度高這一點,高振東是有所預計的,決定套刻精度的主要就是工件臺,而三軋廠的一幫老師傅大發神威,將工件臺的定位精度搞到了1.5μm。

而東北光學所的光學系統圖形畸變只有1個μm不到,這兩者結合起來,套刻精度絕對差不了。

不過估計歸估計,在沒看到真正結果那一天,誰都不敢徹底把心放下來。

聽見馬娟的話,高振東哈哈大笑:“來來來,我看看。”

馬娟從顯微鏡下讓開,高振東把眼睛湊到顯微鏡的目鏡外,顯微鏡裡甚至能看到他自己的眼睫毛,但他現在明顯沒有閒心觀察自己的睫毛是否好看,急著往視場裡看去。

顯微鏡裡,兩次光刻的痕跡非常明顯,一條疊在另一條上面,重合度非常高。

兩次光刻的痕跡,兩邊各露出來一小部分,這部分的單邊寬度,基本上就是套刻誤差了,粗粗看去,目測連整個線寬的一小半都不到。

“好!太好了!馬娟,你們選取一些典型點位,要覆蓋到整個矽片,馬上做個比較全面的測量比較。”

另外一個試驗人員走了上來,和馬娟一起,一邊找點,一邊測量,一邊記錄。

時間的相對論在這裡體現得淋漓盡致,馬娟她們覺得時間過得很快,而等結果的高振東等人覺得時間過得太慢了。

又快又慢的一段時間過去後,試驗人員在計算機面前坐下來,開始將資料輸入計算機,這種簡單統計分析,他們都是直接在原始碼裡敲資料。

處理演算法的C程式碼早就寫好了,現在他們就是在往一個陣列裡填資料而已。

這種辦法,好就好在處理演算法可以隨時根據需要修改。

鍵盤聲啪啪作響,現場人員的心情反而安定下來,從剛才他們測量中報的數來看,這個結果差不了。

隨著最後一個資料輸入完畢,馬娟啟動了編譯執行指令。

演算法過於簡單,沒有帶來任何除錯上的麻煩,很快,螢幕上就跳出了一個數字。

編過臨時程式的人都懂,怎麼簡單怎麼來,這個數字甚至不帶任何單位。

“1.97”。

其實小數點後一位就夠了,那個沒有寫出來的單位,是μm。

&n!

雖然早有所料,但是當這個數字跳出來的時候,高振東還是哈哈大笑了起來。

“哈哈哈……好!太好了!”

這個套刻精度,已經超出了當前所需,PMOS套刻次數少,其實不嚴格的說,10μm的解析度下,5μm的套刻精度都是夠用的。

現在,高振東可以直接宣佈,我們的第一代PMOS工藝積體電路,線寬是10μm。

這個線寬聽起來不咋樣,但是舉個例子就知道它的用處了,DJS59的原型,那片金色的C8008,它的工藝就是10μmPMOS!那一小片晶片上,電晶體數量是6000+。

而首個4Kbit(512Byte)的DRAM,工藝是8μmNMOS,雖然是NMOS,但是並不意味著只有NMOS才能用於和NMOS的最大區別是開關方向相反,而且NMOS開關速度比PMOS要快2.5倍左右。

但是這是61年,PMOS慢點又不是不能用。

可惜那兩片晶片出現的時候,高振東還沒法鎖定兌換的能力,但是這沒有關係,還是那句話,行業初期,主打一個簡單湊合能用就行,設計的核心難度不大。

DJS59的電晶體的電路,其實基本上和C8008內是一模一樣的,現在高振東要做的,就是把這個結構還原到光刻掩模上去。

不過這是個力氣活兒,高振東一個人是搞不成的,太浪費時間了,這個事情,可就落在京城工大這一屆的部分大四學生頭上了。

原本高振東的考慮是光刻機不敢太樂觀,初期預計是50μm左右,後來看到三軋廠的老師傅和東北光學所如此給力,才把SZ61XXX系列晶片頭三片改為了20μm。

&n有望,那不得樂死,就算得先教半年學生,再畫上個一年兩年的圖,那也是一個字兒——值!

而且有了這些基礎,能搞的事情,可就多了,比如自動化人的最愛——微控制器。

不過不論是CPU化的DJS59也好,還是微控制器也好,都還需要時間,至少得等兩樣東西。

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