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國産0.8微米工藝積體電路生産線,與其說是為了振興國家的電子産業,不如說是為瞭解決有無問題。
在沒有市場需求的前提下,僅憑借科研院所和國防工程的訂單,中科院微電子中心根本吃不飽。為了開發0.8微米工藝的技術,國家歷時三年時間投入了五個億的資金,才最終完成了整套裝置的研發。但向國內供應的裝置價格,最貴的光刻機也不過才百萬人民幣而已。
這條生産線不僅僅是需要解決光刻機的問題,像是等離子刻蝕、氣象沉澱裝置,這些都是核心裝置。此外像是擴散爐、離子源,挑片、舉片機,焊接機、鍍膜機、清洗機,一塊不起眼的積體電路如果想走下生産線,起碼要經過上百道工序,歷時十幾、幾十個小時不可。
這還只是晶片生産的前道工序,若是再算上封裝、測試等後道工序,裝置清單能再增加幾倍的長度。
這些哪怕全部都是國産裝置,建設一條積體電路生産線,也至少需要十幾億人民幣。
在這樣高的投入和稀薄的産出面前,中科院微電子中心的生意可想而知。哪怕是面對他們認為“大言不慚”的泛翰研究院,只要拿出真金白銀來,産品也一樣是照賣不誤。
從1995年上半年0.8微米工藝技術定型,實際上中科院微電子中心最大的買家,就是泛翰研究院。周碩前前後後下了三條生産線,價值將近一個億的訂單。結果搬空了微電子中心的倉庫。也不過才湊齊了一條半生産線而已。至於三條線全部配齊,起碼也要到1996年了。
但作為國家研究機構。微電子中心仍然是該賣裝置賣裝置,該罵你一樣罵你。沒辦法。誰叫人家是國內最權威的半導體研發機構。如果從級別上來看,說它是中國半導體學界的武林盟主也不為過……
當然哪怕只是一條生産線,若是日本尼康的産品月産量也能達到三萬片。若是荷蘭阿斯麥的産品,月産量五萬片也毫無問題。但國內技術不論是良品率還是自動化程度,都遠遠不及這兩家。尤其是0.8微米工藝基礎上倉促改造而來的0.5微米工藝生産線,良品率更是在原本就不高的産量上跌了一大截。
“周桑,nand快閃記憶體的生産相關工藝就是如此了。雖然你們的裝置要比我們東芝的差一些,但完成生産流程是沒有問題的。”中村晴樹翻看了一下相關裝置的引數設計,肯定的說道。
東芝雖然不怎麼看得上這樣的小生意。但多少秉持著日本人的謹慎性格,還是派來了一個靠譜的技術人員。在中村晴樹的指導下,積體電路設計方案直接使用了東芝的技術,掩膜、光刻和擴散、沉降等技術引數經過不斷的除錯,也都已經準備就緒。
在中村晴樹認可之後,周碩也有些興奮的向光刻機前的麻友公點了點頭。
麻友公操作著裝置,將已經拋光和清洗完畢的晶圓,放入到光刻機中。接下來的工作,就不再是需要人為幹預的了。
何況蜂巢實驗室作為泛翰研究院的核心實驗室。也不方便讓中村晴樹一個日本人呆太久,周碩連忙將他送了出去。
十三個小時之後,完成了八十三道工序的晶圓,經過最後一次清洗終於完成了它的加工歷程。安靜的躺在了實驗臺上。
此時,蜂巢實驗室的十四位研究員全部聚集一堂,都圍攏在負責測試用的測頻儀前面。就像cpu在出廠之前。需要先進行測試一樣。晶片在製造過程中,總是難免會出現各種各樣的問題。導致一些殘次品或者缺陷。這時候,就要透過測頻確定它們的質量。
有缺陷的晶片被製造成低頻的cpu。透過邏輯遮蔽掉一部分功能,作為低端産品進行出售。而沒有缺陷的cpu則以完整的功能,作為高階産品進行出售。所以才會有一些cpu産品透過開核,來獲得更好、但更不穩定的效能。<101nove.pu檢測一樣,nand記憶體在封裝之前,也需要對其進行測試。不僅要獲得其具體的效能資料,也要透過産品的缺陷推導製造工藝存在的問題。