透過將精細電路圖案曝光在稱為晶圓的半導體基板上而製成的。
而光刻機裝置的作用就是在掩膜版上繪製的電路圖案,透過投影透鏡縮小,再將圖案曝光在矽晶圓上。
光刻機作為晶片生產過程中,複雜性最高,技術含量最高的裝置,被稱為半導體工業皇冠上的明珠。
晶片生產,光刻機是很重要。但也只是沉積,光刻,刻蝕,離子注入、清洗、氧化、檢測,這前七道生產晶片工藝環節中的一道環節裝置。
單單靠一臺光刻機,就直接造出一枚枚晶片出來,這簡直就是天方夜譚的事。
木村光一帶著眾人來到了一臺顯微鏡邊,他拿出了一片晶圓遞給徐教授,並說道:“這片晶圓的晶片,光刻環節是由霓糠公司N79K光刻機完成的。”
很顯然,他是想讓徐教授去觀看晶片裡的微觀結構,來證明霓糠公司的光刻機是不是真的已經達到一微米了。
“謝謝!”徐教授說完接過晶圓,並把它放在顯微鏡下,仔細的看了起來。
現場異常的安靜……
也不知道過了多久.....
徐教授深吸一口氣,默不作聲,離開了顯微鏡。
“老徐,怎麼樣?”
“是啊!老徐,你倒是說句話啊!”
徐教授無奈的回答道:“你們自己看吧!”
聞言,陳工、王工、李工、趙工等眾人也輪流觀看起顯微鏡下晶片裡的晶圓微觀結構。
陳工最先開口:“這片晶片的工藝節點精度數,比我們造的晶片工藝節點精度數,要小很多。
每一塊晶片裡面,容納的電晶體數至少有十幾萬個。”
王工看向徐教授,“確實是使用了一微米曝光度的光刻機,可以不用懷疑。
現在,島國光刻機技術毋庸置疑,已經是最強國家了。”
1亳米=1000微米
1微米=1000奈米
晶片的節點精度數越小,代表的工藝水平越先進,單位面積內所能蝕刻的電晶體也就越多,電晶體數量越多,意味著晶片的運算速率越快,效能也就越強。
徐教授沒有回答而是沉痛的點了下頭,表示陳工和王工倆人的話沒錯!
事實也的確如此!
島國給予企業極優厚的政策和豐厚的資金,並在1976成立了超大規模積體電路技術研究組合,技術研究組合的成員企業,實現上下游廠商的通力協作,共同研發,共同進步。
霓糠和加能兩公司更是在光學裝置上,不管是鏡頭還是平臺,還是自動化技術,全部都是自研,這也是研發光刻機的前置技能,能快速追上米國的前提。
從源頭解決需求,研發溝通更迅速,技術迭代更精準,生產成本更低廉。
米國的光刻機廠商守舊與傲慢,而且還故步自封,根本就不聽取顧客的反饋意見。
去年也就是1982年霓糠公司交付給米國客戶第一臺光刻機裝置的時候,就開始僱傭當地工程師建立矽谷霓糠精機服務中心,用高效和低成本的打法,開始從米國三雄手裡奪下一個接一個大客戶。
就這樣,十年不到時間,島國光刻機廠商反超風光一時的米系廠商,直接將米系光刻機廠商按在地上摩擦。