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第一百八十二章 浸入式技術 (第2/2頁)

他們的半導體產業起步最早,世界上第一塊晶片就是他們製造出來的。

晶片是半導體產業的產品,半導體是用來做晶片的材料。

這個行業,通俗一點,就叫晶片行業,學術一點就叫半導體行業,實際上相當於土豆和馬鈴薯的區別。

僅僅設計出晶片,還是遠遠不夠的,他還需要用光刻機在晶片上進行凋刻。

光刻機就相當於凋刻用的“筆”。

而世界上,只有3個國家有能力製造出光刻機,其中能製造出高階光刻機的,只有島國和荷蘭。

島國的國土面積雖然不大,卻掌握著強大的科技實力和工業基礎。

在八十年代,島國的光刻機是全世界最先進的。

那個時候,尼康、佳能公司也能生產光刻機,曾一度佔領行業50%以上的份額,包括ibm、英特爾、德州儀器在內的大客戶,無一不爭相搶購他們的光刻機。

然而,由於這兩家公司的一個失誤,導致島國將光刻機巨頭的皇冠,拱手讓給了荷蘭的asml。

&nl從2000年左右開始研發euv光刻機,並決定大規模量產。

彼時,島國光刻機企業卻認為系統太過複雜,並未選擇跟進。

&nl還是一家小公司,面對島國制霸光刻機市場,他們決定以小博大,彎道超車,試一試臺積電,林本堅提出的“浸入式光刻機技術”。

這個技術,你聽起來覺得很高階,實際上是一種非常簡單的技術,簡單到陳偉東第一次聽說的時候,還以為自己聽錯了。

所以他對這件事情印象深刻。

浸入式光刻技術,就是在光刻鏡頭,與待刻的矽晶片之間,充滿液體,就可以大幅度提高光刻機的加工精度!

陳偉東將這項“技術”,告訴了克魯格教授。

最近這些天,他在實驗中將那臺從樹屋研究所帶回來的光刻機,精度一百九十奈米的光刻機,成功刻製出了一百零五奈米的密集圖形!

這一結果讓他欣喜若狂!

幾近失態!

通常的光刻機,在光刻鏡頭與矽晶圓之間,沒有任何遮擋。

當然,從另一個角度來說,它們之間,存在的是空氣。

浸入式的思路,就是用液體來替換掉中間的空氣。

由於液體具有折光率,所以當紫外線透過液體介質之後,它的光源波長就會縮短,從而起到精微刻制的作用。

本來他們還覺得有些老舊的光刻機,突然搖身一變,成為了一百零五奈米的光刻機,遠遠的超過了現有的光刻技術!

&nl首創。

早在80年代初,就有科學家採用浸入技術,成功提高了光刻效果。

然而,這項技術,它的液體很容易汙染光學鏡片。

所以這個這個時期的主流光刻技術研究,只是將其作為一個過渡手段,並沒有起到足夠的重視。

一旦下一代光刻技術成熟,便會毫不猶豫的拋棄浸入式光刻。

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