“另外，如果復芯投資ASML失敗的話，我要臺積電，還有說服AMSL，一起給中微半導體提供浸潤式光刻機的專利技術授權。”
陸飛伸出第二根手指。
“你們想要造光刻機？據我所知，中微半導體還沒有研發出65nm乾式光刻機吧？”
章忠謀不免感到意外。
&n乾式光刻機，所以我們需要AMSL、臺積電提供光刻機的專利技術，讓華夏企業自主生產，本來我們計劃是找尼康、佳能合作。”
陸飛勾起了一抹淡淡的笑意。
&n乾式光刻機的訊息，一直處於保密狀態，就像給華為mate60的麒麟9000S晶片由誰代工的一樣，有一股神秘的力量出手，悄悄地保證訊息不洩露。
工信部等領導們有不知情，也有知情，很快就猜到了陸飛的用意，投去鼓勵的眼神。
“這個，我們需要討論一下。”
章忠謀和蔡力行等人說著悄悄話。
“你覺得呢？”
“章總，我覺得可以答應他們。”
“呵呵，你就不怕他們真的造出浸潤式光刻機，甚至是EUV光刻機？”
“怎麼可能呢！您也知道造光刻機的難度有多大，哪怕給他們一套完整的圖紙，他們也無法自主製造出一臺光刻機，更別說造出EUV光刻機，簡直是痴心妄想！”
“你說的也有道理。”
章忠謀就是太清楚光刻機制造的難度，才沒有一口回絕陸飛的條件。
要知道最先進的EUV光刻機包括超過10萬個零件，4萬個螺栓、3000條線路軟管，總長超過兩公里，裝置重達180噸。
光給三星的那臺試驗機，就需要40個集裝箱、20輛卡車和三架貨機，僅除錯時間，就長達一年。
而在這10萬個零件中，一些特殊零件非常複雜，比如紫外光源和光學鏡頭等，蔡斯公司提供生產鏡頭、各種反光鏡和其他光學元件，目前世界上沒有任何公司可以模仿。
卡住了光學鏡頭，量國產光刻機也造不出來，他打心底裡，就不認為大陸能憑一己之力，在不借助國外的情況下，能搞出光刻機。
“可以，但能不能說服ASML，我們不敢百分之百地保證。”蔡力行又點了下頭。
“還有，我們還希望邀請貴公司的林本堅博士來大陸來，協助光刻機的研發專案。”
陸飛敲了敲桌面。
章忠謀立刻打起十二分精神，“不好意思，陸總，林本堅博士早就從臺積電退休了，我們不能替他做出，能不能重新出山，要看他本人的意願。”
陸飛也不強求，改成了讓臺積電幫復芯跟林本堅牽線搭橋，說服出山的工作他們來辦！
章忠謀當然是不願意讓浸潤式光刻機之父林本堅出山，那不像梁孟松一樣資敵了嘛！
不能給大陸半導體任何領先的機會！
只要能控制了所有的技術瓶頸！
“我要的就這幾個條件，不過分吧？”
陸飛左看看，右看看。
“我們這邊沒有任何問題，但我們還要跟公司裡商量，可能需要經過董事會的決議。”
章忠謀喝了口水。
工信部領導們看向陸飛，見他沒有異議地點了下頭：“該走的程式還是要走，應該能在在24號以前給出準確的答覆吧？”