接著沉積光刻膠,在連續的蝕刻流程後,光刻膠修整再蝕刻出個階梯,形成互連。
最後一
步,蝕刻出一個槽再填充氧化物。
然而問題不是出在第三步的光刻膠蝕刻,就是出在流片封測上,哪怕僥倖成功,粗粗一算,良品率低得簡直令人髮指——
才6.3%!闌
「陸總,東芝難道就沒有一個說法嗎!」
胡煜華憤憤不平道:「這個專案我們已經砸了2.2億美刀啊!」
「能有什麼說法?」
陸飛拳頭攥緊,積壓著火:「東芝負責這個專案的技術總工割腕住院,會計臥軌死了,西田這個王八蛋把腰一彎,說句「紅豆泥斯密馬賽」就想死不認賬,嗎的,哪有這麼便宜的事!這群小霓虹我懷疑是組團忽悠我們,背地裡一直在貪汙研發經費。」
「這也太無恥了吧?」
胡煜華萬萬沒想到東芝能這麼臭不要臉,一時無語道:「那我們不是白折騰了嗎?」
「哈哈哈,不白折騰。」闌
陸飛轉怒為喜,「東芝敢這麼幹,不就欺我邏輯無能人嘛?
可巧了,我們還真有人!
朱一明覺得先柵極行不通,能不能試一試後柵極,交替氧化物層和氮化物層,結果他們真搗鼓出一個有別於「BiCS」的新工藝,叫「TCAT」,TerabitCellArrayTransistor。」
(ps:三星就是這個工藝)
「陸總,流片封測的結果怎麼樣?」
「相當可觀,良品率提高了1倍之多。」
「天吶!!」闌
胡煜華倒吸一口涼氣,這項工藝如果發展順利,完全夠格入選guo家科技進步獎。
而且,至少是二等獎!
「噓,保密階段,沒看慶功宴都沒有嗎。」陸飛做了個噤聲的手勢,「東芝不會知道我們揹著他們偷偷成立了一個新的專案組,而且是獨佔,現在你覺得這錢花的冤枉?這筆技術交叉許可虧嗎?」
「陸總,您這是一石三鳥!」
胡煜華興奮中帶著一絲敬佩,雖然錢被貪了,專案黃了,但東芝幫復芯培養了一批快閃記憶體晶片的高精尖人才。
正是這批人,才有了TCAT工藝。
而且BiCS工藝也不是毫無價值,如果三星同意授權,不但能換來OLED、AMOLED面板的技術交叉許可,還能誤導三星快閃記憶體的研發方向,要知道從吃透資料,到搭建試驗,再到修正改進,沒有個三五年,根本不可能。闌
這不正是復芯發展的良機嗎!
「虛則實之,實則虛之。」
陸飛出口就是《孫子兵法》。
胡煜華稱奇之餘擔憂道:「可這樣做會不會對李富真小姐不利啊?如果三星答應技術交換,BiCS的工藝缺陷將來肯定會被查出,作為引進技術的負責人,她會不會……」
「查!一定要查!還必須狠狠查出來!」
陸飛表情嚴肅,「不查,我們怎麼證明邏輯也是受害者?不證明,我們怎麼暴露東芝資料造假?不暴露,我們又怎麼和三星聯手報復呢?三星肯定能理解,他們又不是沒被東芝坑過,那句話怎麼說來著,中韓友誼靠霓虹。」
「那李小姐?」胡煜華問。闌
陸飛抬起左腿,放在右腿上,「等事發的時候,她早就不在晶圓代工部,應該在消費電子部,就算翻舊賬,這個命令也是李健熙親自下達,不排除李在鎔也參與了,她只不過奉命行事而已,要怪,也怪不到她頭上。」
怪不得不去送機,原來心裡有鬼……
胡煜華覺得好有道理,一時竟無法反駁。
「這個也算廢物利用。」
陸飛眯了眯眼,
「就等三星出第一拳,呵呵,特麼的小霓虹,敢貪我的錢是吧!」